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潔凈室靜電的危害和消除靜電的方法
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 潔凈室靜電的危害和消除靜電的方法

A、靜電的危害

1、靜電產(chǎn)生電場能擊穿電子和微電子產(chǎn)品;靜電放電產(chǎn)生電磁波會引起電子儀器的吳動作,放電產(chǎn)生火花可使感光材料曝光。

2、潔凈室的靜電聚集放電會誘發(fā)引起火災(zāi)和爆炸,影響潔凈室的安全。因為潔凈室內(nèi)生產(chǎn)會使用大量的易燃易爆的氣體、溶劑和有機物,潔凈室封閉性很強,人員疏散較困難,若造成火災(zāi),損失更大。

B、靜電的起因

由于某種原因引起電荷移動,正負電荷失去平衡,這樣物體就帶有靜電,造成電荷移動的因素主要有:(1)接觸帶電:其中還包括有摩擦帶電、滾動帶電、剝離帶電、噴射帶電等;(2)感應(yīng)帶電;(3)流動帶電;(4)電暈帶電。

C、防靜電措施

1.1潔凈室圍護的防靜電。即用高導電材料來建造潔凈室的圍護(墻、頂、地)。地面要采用電阻值為104~106Ω導靜電材料或電阻值為106~109的抗靜電材料制作,并要有良好的接地。墻和頂要采用表面電阻值為106~108的鋁蜂窩或巖棉彩鋼板等金屬材料制作,并要有良好的接地。

1.2人員的防靜電。潔凈室的作業(yè)人員要穿防靜電的潔凈工作服,在衣服的織物中加入金屬纖維、碳素纖維等導電材料。必要時作業(yè)人員手腕上佩戴接地腕環(huán)。

1.3生產(chǎn)工藝允許時,還可以用提高潔凈室內(nèi)空氣的相對濕度的辦法,來消除靜電。

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